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핵심기술

초소형 관성센서(MEMS) 기술

1990년대 초부터 단결정 실리콘 기반의 반도체 제조공정 기술을 근간으로 발전된 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 기술을 이용하여 초소형 관성센서가 개발되기 시작하였다. 초소형 관성센서는 기존의 진동형 자이로(vibrating gyro), 진자형 가속도계 등을 MEMS 공정에 의해 반도체 형태의 칩(chip)으로 구현한 것이다.
초소형 관성센서는 회전부가 없으므로 고내충격 특성을 가지며 비교적 저가로 생산이 가능한 장점이 있다. 그러나 현재까지 개발된 초소형 관성센서로 구성된 항법장치 만으로는 중급 이상의 정밀도를 보장할 수 있는 단독항법이 불가능하다. 이런 이유로 초소형 관성센서 기반 항법장치는 항법오차 보정을 위해 GNSS 등의 비관성센서와 결합하여 사용되고 있다. 가까운 시간 내에 초소형 관성센서가 기존 전술급 기계식/광학식 관성센서를 대체할 것으로 예상된다. 이러한 초소형 관성센서를 이용하면 기존의 무유도 무기에 유도조종기능을 부여할 수 있다. 이런 이유로 포 발사 유도탄, 지능탄 분야에 초소형 관성센서의 소요량이 급증하는 추세이다. 비행체의 자동비행장치, 탐색기 안정화 장치 등 다양한 분야에 활용도가 증가하고 있다.
국방과학연구소는 2000년대 초반 기초연구를 시작으로 세계 수준을 목표로 MEMS 자이로와 가속도계 독자개발에 착수, 최근 우수한 성능의 제품 개발에 성공하였다.